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白光干涉三维形貌仪
系统采用气浮式隔振模块、坚固的花岗岩和钢结构支撑，具有出色的稳定性。测量过程简便而快速，只需把被测物体放置到载物台，聚焦出干涉条纹，按下测量按钮即可开始整个测量过程。 标准配置采用五轴手动调整载物平台，可依据不同测试要求做弹性调整，并可选配电动载物平台，以实现自动定位、自动聚焦、自动缝合之大面积高精度的量测要求，样品均不需前处理即可进行非破坏、高精度、快速的表面形貌测量和分析。 | |
| 产品特点： | |
♦非接触、高稳定性、高速度测量 ♦高精度测量、垂直重复测量精度可达1nm 垂直解析度可达0.1nm、水平解析度可达0.1um ♦大面积测量 自动缝合技术实现大面积高精度测量 ♦功能强大、使用便捷的测量分析软件 PuruiVision应用软件可提供多项测量参数 ♦适用范围广泛 可以测量多种类型样品的表面微细结构 ♦真正意义的免维护及优良的性能价格比 |  |
| 使用便捷的应用软件： | |
♦硬件控制、二维载物平台自动控制、光学系统自动聚焦、干涉信号处理 ♦测量结果显示及各种方式处理 二维平面和三维立体显示 任意放大或缩小显示图像 调平和多角度自由旋转 ♦粗糙度测量及结果显示 包括评价区域位置信息和多种粗糙度评价参数 ♦ 线宽测量及结果显示 采用亚像素插值处理技术，线宽测量精度最高可达0.1um 表格形式显示各种线宽结果 根据事先确定的评判基准，实现线宽自动评判功能 ♦多幅相邻区域测量结果自动缝合 | |
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| 产品应用领域： | |
| 在众多高科技研发及产业中，诸如半导体、微机电、平面显示器、电子封装及光学加工等，由于微结构表面轮廓的准确性决定产品的功能和效能，在其制成过程中皆需针对微结构的表面轮廓品质进行检测，PR系列产品提供多种表面参数量测功能如断差高度、线宽、面积、体积、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以满足业界及研究部门之需求。无论是抛光表面还是粗糙表面，只要反光率超过1%，就能被完全检测出来。 | |
| ♦半导体硅片及器件 ♦MEMS装置表面 ♦平面液晶显示器 ♦薄膜厚度 ♦金属摩擦学 ♦陶瓷基板表面 ♦光学器件表面 ♦其他材料分析及微表面研究 |  |
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